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南京航空航天大學高強度混合納米位移平臺項目招標公告

公告編號:20140037

南京航空航天大學科技部所需高強度混合納米位移平臺項目進行招標,歡迎具有供貨能力的制造廠商、代理商或經銷商報名投標。

一、 項目概述

高強度混合納米位移平臺。

二、 項目技術要求

納米位移平臺是實現微納電化學加工的必備設備。根據電化學方面的最新研究成果,電化學反應的區域可以被限制在微納米范圍內,然而實現微納電化學制造中復雜微納結構(如三維型腔)的加工,微細工具電極及工件之間必須要有高精度的相對位移。為了保證微納結構的尺寸、形狀及位置精度,位移平臺必須具有納米精度,實現光滑的運動軌跡和非常小的跟蹤誤差。

主要技術要求如下:

高強度混合納米位移平臺

1) 行程:100mm;

2) 分辨率:2nm;

3) 最小步長:4nm;

4) 準確度(nm): 1Σ:10;3Σ:60;

5) 單向重復性(nm): 典型值10; 3Σ:60;

6) 運動偏擺: 25mrad;

7) 最大速度: 50mm/s;

8) 負載:200N;

9) 最大推拉力: 80N;

備注: (其他要求)

1、設備供應商須提供相關技術咨詢服務;

2、包含各設備及裝備的使用說明。

3、附件齊全,如混合動力控制器等。

三、報名時間、地點及聯系電話

報名時間:2014年3月7日至2014年3月13日,上午8:30-12:00;下午14:00-17:00;節假日除外。

報名地點:南京航空航天大學明故宮校區(南京市御道街29號)行政樓612室

聯系電話:025-84891868 姚老師

南京航空航天大學采招辦

2014年3月7日

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